金屬-絕緣體-金屬（MIM）波導是一種典型的表面等離子體波導。結(jié)合SPP的特性，可以實現(xiàn)對亞波長尺寸光子的控制。本文采用表面等離子體MIM波導作為傳感結(jié)構(gòu)，以Fano共振效應作為傳感基礎。探索了從單面耦合諧振腔波導結(jié)構(gòu)到雙面耦合諧振腔波導結(jié)構(gòu)、從單一Fano諧振效應到多個獨立可調(diào)諧Fano諧振效應的結(jié)構(gòu)。
摘要：表面等離子體激元（SPP）是入射光與金屬表面自由電子相互作用產(chǎn)生的一種集體振蕩形式。在此基礎上，闡述了表面等離子體MIM波導耦合諧振腔機理和Fano諧振原理，構(gòu)建了含金屬擋板的MIM波導耦合矩形諧振腔Fano諧振傳感結(jié)構(gòu)。當波導層厚度達到亞毫米級時，即可激發(fā)超高階導模。該模式對波導層的參數(shù)變化極其敏感。
該波導結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)不同波段光子的同時調(diào)制，同時為研究MIM波導耦合上下T腔雙邊耦合波導結(jié)構(gòu)提供了一定的理論基礎。最后，為了進一步提高傳感性能，增加周圍環(huán)境與MIM波導結(jié)構(gòu)的接觸面積，在單擋板MIM波導耦合到單波導結(jié)構(gòu)的基礎上，提出了一種雙邊耦合諧振腔MIM波導結(jié)構(gòu)。 T形腔體。雙面金屬包層波導與傳統(tǒng)波導相比具有獨特的結(jié)構(gòu)。其基底和覆蓋層均由金屬制成，中間是波導層。